VS-6556最大运动半径为650mm，最大可搬质量5Kg，标准往复时间0.4秒（负载1Kg时），重复定位精度±0.02mm，VS-6577最大运动半径为850mm，最大可搬质量5Kg，标准往复时间0.5秒（负载1Kg时），重复定位精度±0.03mm。全系列均配有无尘室专用及防尘防水式样。
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